MEMS 光纤加速度传感器是一种双正交单分向的宽频带加速度传感器，是将加速度检测质量块、弹性支撑体、光学反射微镜、光入射及出射波导直接集成在一个微小的芯片上，真正实现了对加速度信号的全光检测和传输。MEMS 光纤加速度传感器结构紧凑，采用氧化铝对MEMES 加速度芯片进行封装，灵敏度高，动态范围大、线性度好、低频从0Hz开始，具有平坦的频率特性响应、相位呈线性变化，技术参数一致性好、性能稳定可靠。